Lijiejingi 9-tollised madala kloropreenisisaldusega kindad: uus standard pooljuhtide tootmise puhta kaitse tagamiseks

Pooljuhtide tootmise üha rangemate „nulldefekti” nõuete taustal on Lijie 9-tollised madala kloorisisaldusega nitriilkindad muutunud asendamatuks kaitsevahendiks kiipide töötlemise ja kiipide pakendamise etappides tänu oma erakordselt madalale ioonjäägi sisaldusele ja kõrgele puhtusastmele. Spetsiaalse töötlemise abil kontrollitakse kinnaste kloorisisaldust rangelt ≤50 ppm juures, mis ületab oluliselt tööstusstandardit 100 ppm. See hoiab ära kloriidioonide migratsioonist kiipide pindadel tingitud korrosiooniriski, vastates pooljuhtide tootmise rangetele mikroskoopilise saastumise kontrolli nõuetele.

Litograafiaprotsesside ajal mõjutab kinda puhtus otseselt fotoresistkatte täpsust ja särituse tulemusi. See toode on toodetud 100 000 klassi puhasruumides ja töödeldud lasertolmu eemaldamisega. Selle toote pinnaosakeste emissioon on alla 0,2 osakese ruuttolli kohta, mis vastab ISO 3. klassi puhasruumi standarditele. See hoiab tõhusalt ära mikroosakeste kleepumise vahvli pindadele, vähendades seeläbi litograafiadefekte. 9-tolline pikkus tagab täieliku katvuse randmest peopesani. Koos elastse mansetistruktuuriga tagab see tööpaindlikkuse, hoides samal ajal tõhusalt ära tolmu levimise varruka avas, vastates litograafiaprotsesside dünaamiliste puhaste keskkondade rangetele nõuetele.

Väga söövitavate reagentidega seotud protsesside, näiteks söövituse ja ioonimplantatsiooni ajal näitavad need kindad üles erakordset keemilist vastupidavust. Pärast 24-tunnist sukeldamistesti tavalistes pooljuhtreagentides, nagu vesinikfluoriidhape ja fosforhape, ei ilmnenud neil turset ega pragunemist ning kaalu muutuse määr on alla 0,8%. See pakub operaatoritele usaldusväärset kätekaitset, välistades samal ajal kinnaste kahjustustest tuleneva reagentide saastumise ohu. Sõrmeotstel on 0,02 mm lasergraveeritud libisemisvastased tekstuurid, mis suurendavad hõõrdumist 35% võrra 12-tolliste vahvlite käsitsemisel ja vähendavad vahvli libisemise ohtu 60%. See saavutab tasakaalu kaitseohutuse ja tööstabiilsuse vahel.

Praegu SEMI F57 standarditele vastavaid kindaid kasutatakse juhtivate valukodade, sealhulgas SMIC ja Hua Hong Semiconductor, masstootmisliinidel. Need vähendavad käsitsi kokkupuutest tingitud kiipide praaki 38% võrra, olles ideaalne valik pooljuhtide tootmises, et tasakaalustada puhasruumi kaitset ja töö efektiivsust.